保護ウィンドウ汚れ程度センシング・成果インタビュー

A-SAP第14期プロジェクト成果インタビュー 株式会社トヨコー CoolLaser Div.ユニットリーダー 原口 学 光産業創成大学院大学 バイオフォトニクスデザイン分野 特任助教 水野 誠一郎 保護ウィンドウ汚れ程度センシング 期間 2022年11月～2023年7月 レーザーケレン作業装置のレーザーヘッド内部の保護窓の交換時期を判断するため、保護窓に付着するスパッタ痕などの汚れの程度を自動判定するオフライン型（装置本体に対し別体型として実現）ユニットを開発。